SWA200型晶圆对准设备被动隔振器国产品牌

被动隔振器是一种利用弹性元件和阻尼器，通过机械结构减震的装置。它通过对振动的吸收和衰减，将设备的振动隔离到最小，从而确保设备能够稳定、精准地进行操作。被动隔振器采用弹性结构，将振动能量传递到设备主体，而非传递到地面或周围环境，特别适用于晶圆对准设备。通过被动隔振器，设备的振动源被有效隔离，设备运行更加稳定，产品质量得到显著提升。被动隔峭器具有可靠性高、成本效益、适应性强等优点，是现代晶圆制造中不可或缺的设备。